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清华大学研究团队在高频超级电容器研究方面取得新进展
比商用超级电容器高出 6 个数量级， 近日，在频率响应和电容密度上均取得双重突破。晶圆加工方法和芯片集成技术进行了系统的研究。 本文引用地址： 团队利用微纳制造技术构建了表面绝对平坦、团队创新性地提出了「介电-电化学」不对称电容器的概念，王教授的团队对高频超级电容器的动力学机制、该团队成功攻克了电化学与半导体器件工艺不兼容的挑战，其特征频率超过 1 MHz，即以低频电化学效应和高频介电效应为主的器件，此前，精确确定了超级电容器的动态响应频率上限。覆盖了主流电源电路的工作频率范围。建立了CMOS兼容的晶圆级全工艺制造系统，
在此基础上，提出了跨能量域异构集成理论和三维架构，
近年来，无孔的理想电极，基于这一概念开发的微型超级电容器芯片，
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