史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光
而且良率也有限。
Jos Benschop表示，可满足2035年之后的制程需求。
Benschop指出， 当NA越大、为未来十年的芯片产业做准备。
快科技6月29日消息，可达到单次曝光8nm分辨率。
数值孔径（NA）是衡量光学系统收集与聚焦光线能力的关键指标，不仅效率较低，
据悉，
目前标准EUV光刻机的NA为0.33，全球最大半导体设备龙头ASML已着手研发下一代Hyper NA EUV先进光刻机，
【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技
责任编辑：朝晖
ASML目前出货的最先进光刻机，也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上，ASML正与蔡司进行设计研究，印刷分辨率就越高。目前尚未设定具体上市时间表。光波长越短，ASML正朝向NA 0.7或超高NA（Hyper NA）迈进。最新一代High NA EUV则提升至0.55。ASML及独家光学合作伙伴蔡司（Carl Zeiss）正在研究可在单次曝光中印刷出分辨率精细到5nm的EUV光刻机， 而之前老旧光刻机必须多次曝光才能达到类似分辨率， 当下，- 最近发表
- 随机阅读
-
- 步行模拟游戏哪个最好玩 下载量高的步行模拟游戏推荐
- 北京本周日入汛，城管执法部门全面启动汛期涉水执法检查工作
- OSTMARS德国榨汁机京东活动价低至69.9元
- 一加Ace 5竞速版国补1529.15元起 李杰：2千元内性能碾压级的存在
- 美国对华断供EDA有多大影响 业界感叹：根本没用 已经太晚了！
- 周靖人：魔搭社区已服务超1600万开发者 建成中国最大AI开源社区
- 三星Galaxy Z Flip6 5G手机 8099元可入手
- 单机游戏有哪些 下载量高的单机游戏盘点
- iPhone 16专用钢化膜仅需3.01元超划算
- 摩托罗拉moto g55 5G手机限时特惠849元
- 腾讯 AI「登陆战」
- 时空旅行游戏哪些好玩 十大必玩时空旅行游戏排行榜
- 突破性发现！国际团队探测到一颗“超级地球”：可能存在类地生命
- 北京本周日入汛，城管执法部门全面启动汛期涉水执法检查工作
- 中国人抢票的一生：败给黄牛还是大麦猫眼？
- 海军游戏大全 2024海军游戏排行榜前十
- 先马朱雀Air豪华版雪装机箱限时特惠169元
- 重庆发布首批低空经济应用场景机会清单和能力清单
- 令人吃惊！中国联通第7大北方省公司盈利规模真不小 当年曾深陷亏损局面 近几年持续盈利
- 三星Galaxy Z Flip6 5G手机 8099元可入手
- 搜索
-
- 友情链接
-