史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光
当下，
数值孔径（NA）是衡量光学系统收集与聚焦光线能力的关键指标，可满足2035年之后的制程需求。目前尚未设定具体上市时间表。ASML正朝向NA 0.7或超高NA（Hyper NA）迈进。
Jos Benschop表示，ASML正与蔡司进行设计研究，
目前标准EUV光刻机的NA为0.33，目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上， 当NA越大、
快科技6月29日消息，
【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技
责任编辑：朝晖
不仅效率较低， 而之前老旧光刻机必须多次曝光才能达到类似分辨率，ASML及独家光学合作伙伴蔡司（Carl Zeiss）正在研究可在单次曝光中印刷出分辨率精细到5nm的EUV光刻机，印刷分辨率就越高。为未来十年的芯片产业做准备。而且良率也有限。全球最大半导体设备龙头ASML已着手研发下一代Hyper NA EUV先进光刻机，ASML目前出货的最先进光刻机，也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。Benschop指出，
据悉，最新一代High NA EUV则提升至0.55。可达到单次曝光8nm分辨率。光波长越短，
- 最近发表
- 随机阅读
-
- 篮球游戏哪个好 下载量高的篮球游戏排行榜
- JBL CHARGE6蓝牙音箱京东促销，到手1167元
- 石墨烯超快激光创造了“世界上最快的petahertz量子晶体管”。
- 教育游戏大全 十大必玩教育游戏盘点
- 野马3C认证电动车头盔370S超值优惠价
- 影目智能眼镜正式接入腾讯应用宝，共建AR内容生态新标杆
- 360毒霸误删U盘文件怎么办？
- 运动游戏哪些值得玩 下载量高的运动游戏排行
- 超现实游戏哪个最好玩 下载量高的超现实游戏盘点
- 海尔Haier大16套洗碗机L5，京东3499元超值
- 红米Note14Pro5G手机限时特惠！
- 小米摄像头3云台版套装京东优惠价186元
- 哈曼卡顿Allure Essential蓝牙音箱限时特惠
- 艾卢比B87胶坨坨麻将音机械键盘限时特惠216元
- 信仰游戏哪个好 下载量高的信仰游戏排行榜前十
- HIFIMAN小天鹅耳机429元限时特惠
- 不可思议迷宫游戏有哪些 十大经典不可思议迷宫游戏排行
- 小米净水器1200G Pro限时特惠
- 比秦PLUS DM更运动！新款长安逸动PHEV申报：纯电续航55/118km
- 不止SUV！极氪官宣旗舰轿车项目已提上日程
- 搜索
-
- 友情链接
-