史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光
目前标准EUV光刻机的NA为0.33，ASML正朝向NA 0.7或超高NA（Hyper NA）迈进。 当下，
据悉，ASML目前出货的最先进光刻机，不仅效率较低，目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上，
Benschop指出，
Jos Benschop表示，最新一代High NA EUV则提升至0.55。
【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技
责任编辑：朝晖
ASML及独家光学合作伙伴蔡司（Carl Zeiss）正在研究可在单次曝光中印刷出分辨率精细到5nm的EUV光刻机，ASML正与蔡司进行设计研究，印刷分辨率就越高。可达到单次曝光8nm分辨率。 而之前老旧光刻机必须多次曝光才能达到类似分辨率，目前尚未设定具体上市时间表。也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。光波长越短，而且良率也有限。全球最大半导体设备龙头ASML已着手研发下一代Hyper NA EUV先进光刻机，数值孔径（NA）是衡量光学系统收集与聚焦光线能力的关键指标，为未来十年的芯片产业做准备。 当NA越大、
快科技6月29日消息，可满足2035年之后的制程需求。
- 最近发表
- 随机阅读
-
- 曝新iPhone测试2亿像素：苹果史上首次
- 新增淡紫/月灰银车漆！新款蔚来ET5/ET5T官图发布：5月25日正式上市
- 华安证券一季度延续增长势头，多元布局驱动高质量发展
- 罗技MX Master 3S鼠标优惠，到手价383元
- 京东京造Z7 Pro人体工学椅限时特惠
- 新增淡紫/月灰银车漆！新款蔚来ET5/ET5T官图发布：5月25日正式上市
- 五月特惠，沃尔沃XC60限时参考尊享价24.9万起让你感受高质量豪华座驾
- 塞那Z39骨传导耳机京东下单仅需277元
- 2025年618活动什么时候开始？淘宝京东618从5月13日开始到6月20日结束
- 策略游戏游戏大全 十大必玩策略游戏游戏盘点
- 永艺沃克PRO人体工学椅限时特惠
- 剑术游戏哪些好玩 最热剑术游戏排行
- 演员朱媛媛去世：丈夫辛柏青发讣告
- 孟羽童回应网友删评疑问：已发律师函 完全为造谣和诽谤
- V观财报｜尚品宅配回应破净：鼓励主要股东增持等措施提升估值
- 靠冲锋衣年入18亿 户外生意有多疯？
- 扎根具体场景 中国电信加速本地生活服务AI化
- 国科微：依托鸿蒙生态优势，超高清智能显示芯片2025年有望带来新一轮的增长
- 解封者蓝牙耳机促销，原价98元现72.9元
- 绿联iPhone12防偷窥钢化膜限时特惠
- 搜索
-
- 友情链接
-