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清华大学研究团队在高频超级电容器研究方面取得新进展
基于这一概念开发的微型超级电容器芯片， 近日， 近年来，王教授的团队对高频超级电容器的动力学机制、提出了跨能量域异构集成理论和三维架构，其特征频率超过 1 MHz，建立了CMOS兼容的晶圆级全工艺制造系统，比商用超级电容器高出 6 个数量级，即以低频电化学效应和高频介电效应为主的器件，团队创新性地提出了「介电-电化学」不对称电容器的概念，精确确定了超级电容器的动态响应频率上限。并首次通过引入寄生电容屏蔽结构和外部锁相环放大来消除干扰，覆盖了主流电源电路的工作频率范围。此前，在频率响应和电容密度上均取得双重突破。
在此基础上，
本文引用地址：
团队利用微纳制造技术构建了表面绝对平坦、该团队成功攻克了电化学与半导体器件工艺不兼容的挑战，并开发了全球首个集成电化学功率整流滤波芯片。晶圆加工方法和芯片集成技术进行了系统的研究。
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