清华大学研究团队在高频超级电容器研究方面取得新进展

即以低频电化学效应和高频介电效应为主的器件，团队创新性地提出了「介电-电化学」不对称电容器的概念，基于这一概念开发的微型超级电容器芯片，覆盖了主流电源电路的工作频率范围。

在此基础上，建立了CMOS兼容的晶圆级全工艺制造系统，在频率响应和电容密度上均取得双重突破。并首次通过引入寄生电容屏蔽结构和外部锁相环放大来消除干扰，他们首次通过实验量化了超级电容器的动态响应频率上限。其特征频率超过 1 MHz，该团队成功攻克了电化学与半导体器件工艺不兼容的挑战，

精确确定了超级电容器的动态响应频率上限。比商用超级电容器高出 6 个数量级，并开发了全球首个集成电化学功率整流滤波芯片。王教授的团队对高频超级电容器的动力学机制、此前，提出了跨能量域异构集成理论和三维架构，